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Konfokalmikroskop – Nanofocus µsurf custom

Das Konfokalmikroskop ist ein Oberflächenmesssystem zur Topografie- und Rauheitsmessung. Es ermöglicht die Vermessung von Mikrogeometrien und Schichtdicken.

Ansprechpartner: Tim Wolfer
Gruppe/Bereich: Optronik

Bild Konfokalmikroskop – Nanofocus µsurf custom

Maschinendaten und Zubehör

 Multisensor-Option:

  • µsurf (Flächenmessung)
  • µscan (Linienmessung)
  • < 100nm (Höhenauflösung)
  • 10 x, 20 x, 50 x, 100 x Vergrößerungen

Features:

  • Berührungslos
  • Universell einsetzbar
  • Erfassung steiler Flanken
  • Hohe Auflösung
  • Sichere Ergebnisse bei schwach oder unterschiedlich reflektierenden Oberflächen

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