InstitutAktuellNews
Drucksensoren aus Glas: IMPT gewinnt „Best Session Paper“

Drucksensoren aus Glas: IMPT gewinnt „Best Session Paper“

© Fischer/IMPT

Bei der diesjährigen „Electronic Components and Technology Conference“ wurden vier Wissenschaftler*innen des Instituts für Mikroproduktionstechnik (IMPT) und deren Kooperationspartner*innen der Firma LPKF mit dem Preis des „Best Session Paper“ ausgezeichnet. Prämiert wurde der Beitrag mit dem Titel „Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor“. Der Beitrag zeigte die ersten Entwicklungsschritte und Auswertungen eines Differenzialdruck-Sensors, dessen Grundlage ein von LPKF hergestelltes Raster aus Membranen in einem Glassubstrat darstellt.

Die Anwendungsfelder für Drucksensoren sind vielfältig. In der Meteorologie interessiert man sich für atmosphärische Druckänderungen, in spezifischen Industrieanlagen überwachen Drucksensoren den Vakuumprozessdrücke, der Automobilsektor kontrolliert die Zündung und den Kraftstofffluss mit Drucksensoren, oder es wird der Kontakt- oder Tastsinn in der Soft-Robotik erfasst. Die biomedizinische Forschung versucht durch minimalinvasive Chirurgie (MIS) und minimalinvasive Invasive Roboterchirurgie (MIRS) chirurgische Eingriffe zu verbessern den Komfort von Krankenhausbetten zu erhöhen.

Das Konzept wurde in zwei Ausführungen untersucht, mit runder und quadratischer Membran, und eigens dafür Strukturen zur Messung der Membranauslenkung bei Druckschwankungen entwickelt. Einzelne Sensorchips wurden dann mithilfe eines selbstentworfenen Aufbaus vermessen und charakterisiert.

Mehr dazu unter:
https://phi-hannover.de/drucksensoren-aus-glas-impt-gewinnt-best-session-paper/